[发明专利]一种压电激励的模态切换型微操控测量系统及其方法

摘要

本发明公开了一种压电激励的模态切换型微操控测量系统及其方法，测量系统包括微操控装置、显微检测装置和计算装置；微操控装置包括容器、基板、四个换能器、四个固定螺栓和四个固定圆筒；换能器包含连接圆台、连接柱、压电陶瓷模块、预紧柱和预紧螺栓；容器固定在四个换能器的顶部，四个固定圆筒分别将四个换能器的底部固定在基板上。工作时，显微检测装置观测其载物台上微操控装置容器中微球的图像并将其传递给计算装置；计算装置分析图像并通过机器学习得到微球的运动轨迹和其形貌参数。本发明设备简单、价格便宜，采用压电激励的微操控装置实现对微球的无损、无接触操控，能够快速得到微球的运动轨迹和其形貌参数。