[发明专利]一种三维微小位移测量方法及系统有效
申请号: | 202110061164.5 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN112648916B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 李新娥;年夫顺;金怀智;张智超;赵夏青;王川东;汪洋 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 刘凤玲 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开一种三维微小位移测量方法及系统,涉及微小位移测量技术领域,方法包括:获取待测位移物体的模型;在待测位移物体的模型上设置有三个容栅传感器组;模型包括第一子模型和第二子模型,第一子模型设置在第二子模型的内部;容栅传感器组的动栅设置在第一子模型的外侧壁上且静栅设置在第二子模型的内侧壁上或者容栅传感器组的动栅设置在第二子模型的内侧壁上且静栅设置在第一子模型的外侧壁上;每个容栅传感器组的动栅和静栅形成通道,每个通道用于检测动栅的极距变化和面积变化;面积变化为动栅和静栅的相对面积变化;分别获取三个容栅传感器组的电压值;根据容栅传感器组的电压值确定位移。本发明能够实现对三维空间微小位移的测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 微小 位移 测量方法 系统 | ||
【主权项】:
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