[发明专利]一种天然金刚石同质外延生长单晶金刚石的方法有效
| 申请号： | 202110062818.6 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112899774B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 周焱文 | 申请（专利权）人： | 武汉普迪真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/20 | 分类号： | C30B25/20;C30B25/04;C30B29/04 |
| 代理公司： | 湖北天领艾匹律师事务所 42252 | 代理人： | 程明 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种天然金刚石同质外延生长单晶金刚石的方法，具体涉及金刚石制备技术领域，包括以下步骤，选用形状良好且表面无缺陷的高质量天然金刚石作为基底，然后对其表面进行浸泡清洗20‑30min。本发明通过对天然金刚石基底表面进行平整化处理、酸处理、超声清洗和刻蚀处理，从而可以降低天然金刚石基底表面的杂质和缺陷，然后通过显微镜仔细选择质量较高的表面在一定条件下进行外延生长，然后对单个表面外延生长后进行斜切，从而形成两个较大面积的单晶金刚石表面，然后对这两个表面进行拼接再次在上述条件下进行外延生长，从而可以在一定程度上保障金刚石的外延生长速率，同时在一定程度上提高天然金刚石基底的外延生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 天然 金刚石 同质 外延 生长 方法 | ||
【主权项】：
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