[发明专利]一种非接触式电容传感器装置有效
| 申请号： | 202110067143.4 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112815817B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李艳丽;伍强 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式电容传感器装置，包括第一支架，以及与第一支架相对的待测物体；第一支架中包括第一磁铁、第一U型弹簧片、绝缘介质层、电容器和夹板；第一磁铁与第二磁铁相对设置，待测物体与第二磁铁一起移动，第一磁铁通过连线连接第一U型弹簧片，第一U型弹簧片靠近第一磁铁的一端固定连接绝缘介质层；电容器包括正极板和负极板，正极板和负极板在垂直方向上交叉排列，绝缘介质层平行于正极板和负极板，且部分位于相邻的正极板和负极板之间，正极板和负极板连接至信号检测单元；电容器被固定在夹板上。本发明通过磁铁控制的非接触式电容传感器；可以通过电容变化确定待测物体的移动方向和位移，具有较高的响应频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 电容 传感器 装置 | ||
【主权项】：
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