[发明专利]一种N极性氮化物模板、N极性氮化物器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110068061.1 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN112786751A 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 陈洋;孙晓娟;黎大兵;蒋科;贲建伟;张山丽;石芝铭;臧行 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01L33/18 分类号: H01L33/18;H01L33/32;H01L33/12;H01L33/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 魏毅宏
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种N极性氮化物模板、N极性氮化物器件及其制备方法,N极性氮化物模板包括:衬底;插入层;氮化物层;其中,插入层的材料为过渡金属二硫属化合物。本申请的氮化物模板,包括过渡金属二硫属化合物,其具有二维的层状结构,由上下两层S原子中间夹一层过渡金属原子构成,这种材料具有较好的热稳定性及化学稳定性,适用于氮化物材料外延生长过程的高温条件和气体氛围,对于传统的蓝宝石衬底,通过插入薄层的过渡金属二硫属化合物可以有效调控氮化物材料的原子吸附能,同时过渡金属二硫属化合物在大尺寸范围提供连续、稳定的S原子终端,能够遏制部分极性反转的问题,实现高度均一性的N极性氮化物材料及其微电子/光电子器件结构。
搜索关键词: 一种 极性 氮化物 模板 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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