[发明专利]超声波器件及超声波器件的制造方法在审
申请号: | 202110068632.1 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN113219469A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 松田洋史 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01S15/08 | 分类号: | G01S15/08;G01S7/521 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及超声波器件及超声波器件的制造方法,使超声波器件小型化。超声波器件(1)具备:基板(110),在第一面(110c)具有通过振动而产生超声波的一个以上振动元件(113)以及与振动元件(113)连接的多个电极(111、112);保护基板(115),在基板(110)的第一面(110c)侧与电极(111)对置,并保护设置有开口部(115a)的振动元件(113);以及间隔件(114),在基板(110)与基板(115)之间设置间隔,在基板(110)与保护基板(115)的层叠方向的俯视观察中,开口部(115a)在内侧包含电极(111、112)。 | ||
搜索关键词: | 超声波 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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