[发明专利]超声波器件及超声波器件的制造方法在审

专利信息
申请号: 202110068632.1 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN113219469A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 松田洋史 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G01S15/08 分类号: G01S15/08;G01S7/521
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 李丹
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及超声波器件及超声波器件的制造方法,使超声波器件小型化。超声波器件(1)具备:基板(110),在第一面(110c)具有通过振动而产生超声波的一个以上振动元件(113)以及与振动元件(113)连接的多个电极(111、112);保护基板(115),在基板(110)的第一面(110c)侧与电极(111)对置,并保护设置有开口部(115a)的振动元件(113);以及间隔件(114),在基板(110)与基板(115)之间设置间隔,在基板(110)与保护基板(115)的层叠方向的俯视观察中,开口部(115a)在内侧包含电极(111、112)。
搜索关键词: 超声波 器件 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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