[发明专利]老化装置、处理系统和老化方法在审
申请号: | 202110068648.2 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN113144706A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 芳川典生;伊东隆介;前向正刚;松平一博;川上刚史 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
主分类号: | B01D29/33 | 分类号: | B01D29/33;B01D29/60;B01D29/96 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 宋晓宝;向勇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种老化装置、处理系统和老化方法,能够抑制处理液的使用量,并且减少从过滤器产生的初始粉尘。该老化装置(2)具有第一罐(40)、第二罐(50)、第一分支配管(63)和第二分支配管(64)。第一分支配管(63)和第二分支配管(64)在第一罐(40)和第二罐(50)之间并列地延伸。在第一分支配管(63)和第二分支配管(64)的路径上能够安装过滤器(F1、F2)。控制部(80)交替地执行从第一罐(40)通过第一分支配管(63)向第二罐(50)输送处理液的处理和从第二罐(50)通过第二分支配管(64)向第一罐(40)输送处理液的处理。由此,能够抑制处理液的使用量,并且减少从过滤器产生的初始粉尘。 | ||
搜索关键词: | 老化 装置 处理 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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