[发明专利]一种GRIN透镜最佳物像距测量系统有效
| 申请号： | 202110069543.9 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112816188B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 廖家胜;邵航;唐洁;刘威 | 申请（专利权）人： | 浙江未来技术研究院（嘉兴） |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京华清迪源知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 丁彦峰 |
| 地址： | 314000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种GRIN透镜最佳物像距测量系统，逆显微成像单元将分辨率靶标成像至GRIN透镜物面，正显微成像单元测量GRIN透镜像面最佳分辨率，镜面定位单元测量第一物镜至GRIN透镜前端面的距离，及用于测量第二物镜至GRIN透镜后端面的距离。本发明通过采用迈克尔逊干涉和显微测量光路相结合的技术思路，以GRIN透镜两端平面作为基准，实现了最佳物像距的亚微米级测量精度，极大的改善了GRIN透镜组合光学系统的成像质量；整个测量过程实现无接触测量，精度可以实现亚微米级，满足现有GRIN透镜的测量需求；可以通过镜面定位单元及时发现并校正回程差、偏离光轴等问题，确保测量精度，提升了GRIN透镜的应用优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 grin 透镜 最佳 物像 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江未来技术研究院（嘉兴），未经浙江未来技术研究院（嘉兴）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110069543.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
