[发明专利]一种用于测试制冷机低温冷头微振动的装置在审
| 申请号： | 202110069646.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114812785A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王莉娟;荀玉强;石长振;位红燕;刘欣彤;赵密广;梁惊涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的用于测试制冷机低温冷头微振动的装置，将激光光束入射在四象限探测器上，并采集四个像素上的激光强度进行差和运算得出激光中心的偏移反推出制冷机工作时低温冷头位移偏移，测试其微振动，此测试方法可以解决制冷机低温冷头(40K‑120K)微振动测试的问题，与此同时可以直接测试红外探测器杜瓦与低温冷头耦合后探测器的微位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 制冷机 低温 冷头微 振动 装置 | ||
【主权项】：
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