[发明专利]一种大沉积区域金刚石薄膜制备用热丝架

摘要

本发明公开了一种大沉积区域金刚石薄膜制备用热丝架，所述热丝架的结构包括：3根以上条形电极，包括正电极和负电极；若干热丝；所述条形电极彼此平行，沿与条形方向垂直的横向排成一行；所述正电极和负电极间隔排列；所述热丝一端固定于最左端的条形电极，热丝中间部分搭接于中间位置的条形电极上，另一端固定于最右端的条形电极。本发明热丝架通过设置多根条形电极，针对热丝加热时延伸造成下沉，影响碳化效果的问题，通过设置多跟条形电极，使中间位置的条形电极在提供电源的同时，对热丝提供一个承托的作用，减轻了下沉的情况，且通过设置压缩弹簧结构，或重力结构，能够对热丝提供一个拉力，克服下沉的趋势。