[发明专利]一种掺硼金刚石薄膜电极复合基体及其制备方法

摘要

本发明提供一种掺硼金刚石薄膜电极复合基体，包括基体下部和位于基体下部上表面的用于沉积掺硼金刚石薄膜的基体上部；基体下部为陶瓷材料，基体上部为金属材料；基体下部上表面设置凹槽，基体上部下表面设置与凹槽匹配的凸出部，凹槽用于卡设凸出部。本发明基体上部的凸出部卡设于基体下部的凹槽中，两者相互配合，增强不同材质的基体上部与基体下部的结合性。本发明基体上部为沉积掺硼金刚石薄膜的部分，基体下部用于提供力学支撑，增强基体承受流体冲刷的能力。本发明基体下部为陶瓷材料，耐腐蚀性强，基体上部沉积掺硼金刚石薄膜后，耐腐蚀性弱的基体上部与流体被掺硼金刚石薄膜隔离，复合基体整体耐腐蚀性得到提高，使用寿命长。