[发明专利]一种靶材组件的厚度评价方法在审
| 申请号： | 202110070730.9 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112902888A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;时晓旭;蔡旭文 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在靶材组件的溅射面选取17‑33个测试位点采用超声测厚仪进行厚度测量，各个测试位点的厚度值≥预设值，则所述靶材组件合格。本发明提供的方案，通过选择合适的位点个数，测定特定的测试点处靶材组件的厚度与预设值相对比，实现了靶材厚度的精准把控，可以保证靶材在溅射过程中不被击穿，显著地提高了溅射过程中的作业效率，可以有效地提高产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 厚度 评价 方法 | ||
【主权项】：
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