[发明专利]基于场效应晶体管的气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110073304.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112881477A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王超;李向光;田峻瑜;方华斌 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于场效应晶体管的气体传感器及其制备方法，气体传感器包括衬底、绝缘层、有源层、源极和漏极，所述绝缘层设置在所述衬底和有源层之间，所述源极和漏极分别间隔设置在所述有源层远离所述绝缘层的一侧，所述有源层的材料为二氧化钛纳米纤维或氧化锌纳米纤维，易于和VOC气体发生化学反应，增强了气体检测反应速度和灵敏度，且比表面积大，增加了感应面积，可在相同的反应速度级别和灵敏度精度下将传感器尺寸做的更小，而且二氧化钛纳米纤维或氧化锌纳米纤维通过静电纺丝技术制备，制备方法简单，静电纺丝装置工艺简单、生产效率高，有利于气体传感器在消费电子中的应用，以及在更多应用场景中的普及。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 场效应 晶体管 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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