[发明专利]一种两用双通道树脂滤光片的生产方法在审
| 申请号： | 202110073543.6 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112899622A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 增田清志;增田博志;龚裕 | 申请（专利权）人： | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/50;G02B5/20 |
| 代理公司： | 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 | 代理人： | 郭珊珊 |
| 地址： | 215501 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，包括以下步骤：S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20‑40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16‑26层，形成短波通。本发明，比玻璃双通滤光片更薄，柔性材料更容易加工成各种形状，且不易破碎。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 两用 双通道 树脂 滤光 生产 方法 | ||
【主权项】：
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