[发明专利]一种基于电场分布调控的高增益紫外雪崩探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于电场分布调控的高增益紫外雪崩探测器，该探测器为Ag纳米颗粒修饰的Au/MgO/ZnO/Al结构的ZnO肖特基型紫外雪崩探测器；包括衬底层，所述衬底层上设有紫外光吸收层ZnO薄膜，在ZnO薄膜的一侧设有载流子雪崩倍增层MgO介电薄膜，所述ZnO薄膜和MgO介电薄膜上分别设有铝电极和金电极，其中ZnO薄膜上还设有Ag纳米颗粒修饰层。本发明所设计的器件结构有利于将电场限定在倍增层，从而有利于在倍增层中实现高电场，由于高电场能够实现载流子的高雪崩增益，因此在该结构中能够实现高增益的ZnO紫外雪崩探测器。本发明与已有的ZnO紫外雪崩探测器相比，具有高增益的优点，进而将达到实现高性能ZnO紫外雪崩探测器的目的。