[发明专利]一种基于双光栅反馈的二维片上传感器及设计方法在审

专利信息
申请号: 202110074988.6 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112909738A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 张浩然;王涛;王高峰 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01S5/12
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 杨舟涛
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于双光栅反馈的二维片上传感器及设计方法,所述的双光栅反馈的超薄激光折射率传感器由上光栅层、增益层、下光栅层组成。该设计具有传统激光器的特征:低阈值、单纵模、小发散角,并且因为简单的结构,降低了制备和集成的难度,减小了量产的成本。同时,由于光栅结构的特殊性,激光器激发的波长与环境折射率有关,因此,该设计还具有对环境折射率探测的功能,其灵敏度达到221nm/RIU,品质因子达到4420RIU‑1,对环境、生物、医疗、化学等领域的快速、实时、准确检测具有重要意义。
搜索关键词: 一种 基于 光栅 反馈 二维 传感器 设计 方法
【主权项】:
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