[发明专利]一种基于双光栅反馈的二维片上传感器及设计方法在审
申请号: | 202110074988.6 | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN112909738A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 张浩然;王涛;王高峰 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/12 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明公开了一种基于双光栅反馈的二维片上传感器及设计方法,所述的双光栅反馈的超薄激光折射率传感器由上光栅层、增益层、下光栅层组成。该设计具有传统激光器的特征:低阈值、单纵模、小发散角,并且因为简单的结构,降低了制备和集成的难度,减小了量产的成本。同时,由于光栅结构的特殊性,激光器激发的波长与环境折射率有关,因此,该设计还具有对环境折射率探测的功能,其灵敏度达到221nm/RIU,品质因子达到4420RIU |
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搜索关键词: | 一种 基于 光栅 反馈 二维 传感器 设计 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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