[发明专利]一种ALD加工设备以及加工方法

摘要

本发明涉及一种ALD加工设备以及加工方法。其中的加工设备的反应器包括真空腔室以及反应腔室，反应腔室内置于真空腔室内，反应腔室顶部敞口，反应腔室的底部开设有进气通道及出气通道，真空腔室的侧面上设置有第一料口，升降装置的输出端设置可将反应腔室顶部密封的封盖，抓取装置设置在封盖上，抓取装置用于抓取输送至真空腔室内的基体，送料腔室设置在反应器的外侧，送料腔室设置有第二料口以及第三料口，第二料口和第一料口连通设置，第二料口和第一料口之间设置有可开启的第一密封门，送料腔室上设置有可将第三料口开闭的第二密封门，送料腔室内设置有用于将基体输送至真空腔室内的输送装置。本发明可保证沉积膜的成型质量和一致性。