[发明专利]一种气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110077044.4 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112924515A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李汶懋;罗伯特·索科洛夫斯基;于洪宇;汪青 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种气体传感器及其制备方法，其中气体传感器包括：依次层叠的半导体衬底、缓冲层、势垒层、帽层，以及位于势垒层远离沟道层一侧的源极和漏极；还包括耐温绝缘层，耐温绝缘层设置于源极和漏极远离势垒层的一侧；耐温绝缘层覆盖势垒层和沟道层沿传感器厚度方向的侧壁，且覆盖势垒层未设置源极和漏极的区域；还包括栅极，栅极位于耐温绝缘层远离半导体衬底的一侧，且位于源极和漏极之间的感应区域。本发明实施例提供的技术方案提高了气体传感器的耐温性，扩大了测试温度的范围，增加了检测气体的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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