[发明专利]用于改善MEM加速度计的频率响应的方法和装置在审
申请号: | 202110079142.1 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN113156163A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | K·Q·恩古因;A·R·斯拜尔 | 申请(专利权)人: | 美国亚德诺半导体公司 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;G01P15/125 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 张丹 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及用于改善MEM加速度计的频率响应的方法和装置。公开一种用于测量加速度的传感器装置及其操作方法。在一些实施方案中,传感器内部的电路将来自加速度计的测得的加速度信号数字化为数字化的加速度信号,并由传感器内的数字均衡滤波器进行处理以提供均衡的加速度信号。均衡的加速度信号可以具有在延伸超出传感器的加速度计内的MEMS传感器的谐振频率的频率范围内基本平坦的频率响应。 | ||
搜索关键词: | 用于 改善 mem 加速度计 频率响应 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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