[发明专利]被加工物的加工方法在审
| 申请号： | 202110080137.2 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN113263643A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 山本直子 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04;H01L21/02;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供被加工物的加工方法，该被加工物的加工方法包含形成切削槽的切削工序和之后实施旋转清洗的清洗工序，其中，该被加工物的加工方法用于更可靠地冲走在切削工序中产生的切削屑而使其不残留于切削槽。被加工物的加工方法包含如下的步骤：切削步骤，利用前端具有V形状的切削刀具沿着分割预定线对被加工物进行切削，形成V槽，该V槽的槽浅的部分的宽度比槽深的部分的宽度宽；以及清洗步骤，在实施了切削步骤之后，利用清洗水对被加工物的背面进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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