[发明专利]用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模在审
| 申请号： | 202110080515.7 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN113215526A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 金南昊 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模，其包括蒸镀区域及非蒸镀区域，所述蒸镀区域包括沿所述蒸镀用掩模的长度方向彼此隔开的多个有效部及非有效部，所述有效部包括：多个通孔，包括形成在一表面上的多个小表面孔、形成在与所述一表面相反的另一表面上且与所述小表面孔连通的多个大表面孔、连接所述小表面孔和所述大表面孔的分界的连通部；及第一凹部，形成在所述一表面上的多个所述小表面孔之间，且开口面积大于所述小表面孔开口面积的30％，多个所述有效部内的第一凹部为5个以下。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 oled 像素 金属材料 蒸镀用掩模 | ||
【主权项】：
暂无信息
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