[发明专利]一种在氮化铝陶瓷表面敷铜或敷铜合金的方法

摘要

本申请公开了一种在氮化铝陶瓷表面敷铜或敷铜合金的方法，选用金属铜或铜合金粉体，通过大气等离子喷涂技术将金属铜或铜合金粉体在熔融状态下喷涂在覆盖有特定图案掩模版的氮化铝陶瓷基板表面，调整诸多工艺参数和等离子体喷枪结构制备出铜或铜合金与氮化铝陶瓷界面结合强度高、电导率高的氮化铝陶瓷敷铜基板。本申请直接将金属铜或铜合金粉末喷涂在高导热氮化铝陶瓷基板上得到铜陶瓷基板或者将铜或铜合金粉末喷涂在覆盖有电路图案的掩膜的高导热氮化铝陶瓷基板上，得到不同图案且线宽精度高的敷铜电路陶瓷基板，是一种新的敷铜或铜合金氮化铝陶瓷基板及制备方法，该方法简单，可以实现快速、大面积制备，降低成本，具有广阔的应用前景。