[发明专利]一种具有高速轴向扫描能力的三维直写光刻方法及装置在审
| 申请号： | 202110081492.1 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112764326A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;周国尊;刘旭;李海峰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;之江实验室 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 刘静 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有高速轴向扫描能力的三维直写光刻方法及装置，方法步骤如下：产生直写加工光束，通过控制加工光束的光强，实现灰度直写加工；加工光束经两个相互垂直放置的声光偏转器实现平面二维扫描；通过电控变焦透镜控制加工光束的汇聚与发散，分别对应产生加工光斑在物镜焦面附近的前离焦和后离焦，从而实现电控高速轴向扫描。本发明与传统电扫描直写光刻方法及装置相比，采用电控变焦透镜实现轴向电控高速扫描，进一步提升了扫描加工速度与加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高速 轴向 扫描 能力 三维 光刻 方法 装置 | ||
【主权项】：
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