[发明专利]一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置有效
申请号: | 202110081498.9 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN112684572B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 匡翠方;周国尊;杨振宇;刘旭;李海峰 | 申请(专利权)人: | 浙江大学;之江实验室 |
主分类号: | G02B7/09 | 分类号: | G02B7/09;G02B7/18;G03F9/00 |
代理公司: | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人: | 周新楣 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提出一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置,该装置包括:激光光源,用于产生对焦光束;分束装置,用于通过两块沃拉斯顿棱镜将单束对焦光束分束为四束对焦光束;合束聚焦系统,用于将对焦光束与光学系统工作光束合束,并将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的四个呈菱形分布的对焦光斑;镜面角锥棱镜,用于将四束对焦光束分开;共焦强度探测装置,用于将对焦光斑共焦成像,并探测像点位置的光强变化;反馈运动机构,用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号,并根据信号驱动运动机构,带动对焦对象旋转或平移,完成自动调平和自动对焦。本发明与现有对焦装置相比,增加了自动调平功能,极大的扩展了该装置的应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 兼具 自动 功能 对焦 方法 装置 | ||
【主权项】:
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