[发明专利]一种局部正弦辅助的光栅尺测量误差自适应补偿方法有效

专利信息
申请号: 202110082440.6 申请日: 2021-01-21
公开(公告)号: CN112923847B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 蔡念;李文剑;陈梅云;王晗 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G06F17/16
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 许庆胜
地址: 510060 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开了一种局部正弦辅助的光栅尺测量误差自适应补偿方法,通过正弦信号叠加到所述光栅尺的原测量误差信号中,重构光栅尺的测量误差信号,抑制了模态混叠现象。通过经验模态分解得到多个IMF分量,通过对IMF分量进行奇异值分解后,基于预设的自适应IMF筛选条件进行阈值变换,选择符合条件的IMF分量作为趋势误差分量,再获得总趋势误差分量对光栅尺进行补偿,从而消除了光栅尺的测量误差的基本趋势,有效地提高了光栅尺的测量精度,提高了测量误差补偿的准确性。
搜索关键词: 一种 局部 正弦 辅助 光栅尺 测量误差 自适应 补偿 方法
【主权项】:
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