[发明专利]一种锆钛酸铅压电薄膜及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110082483.4 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112928200B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 欧阳俊;王莹莹 | 申请（专利权）人： | 齐鲁工业大学 |
| 主分类号： | H10N30/853 | 分类号： | H10N30/853;H10N30/076;H10N30/093;H10N30/20;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/08 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张晓鹏 |
| 地址： | 250353 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种锆钛酸铅压电薄膜及其制备方法与应用，结合在导电钙钛矿缓冲层上低温镀膜和快速退火工艺，在不同取向(100或111)硅基底上获得了高度(001)取向的PZT膜及其压电悬臂梁结构。同时，结合界面工程和缺陷工程，在PZT膜中实现了自偏压(ΔV |
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| 搜索关键词： | 一种 锆钛酸铅 压电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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