[发明专利]一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法有效

专利信息
申请号: 202110084277.7 申请日: 2021-01-21
公开(公告)号: CN112903598B 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 涂华恬;郑玉祥;陈良尧;张荣君;王松有;李晶;赵海斌;杨月梅 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: G01N21/21 分类号: G01N21/21;G01M11/02
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于光学电子器件技术领域,具体为一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法。本发明的原理是对由起偏器出射的两束偏振方向相互垂直的线偏光,经过已知介电函数谱的样品后,其反射椭偏光的椭圆方位角的进行差分光谱分析,准确地获得起偏器方位角的位置。其中通过可旋转检偏器以及光栅光谱仪,对550‑650 nm光谱范围内的200个以上的波长点,完成差分光谱数据的采集,分析确定偏振元件方位角的位置,完成定标过程。本发明通过Si和Au体材料的测试验证;克服了传统定标方法对反射材料光学常数的精确度、探测器光强灵敏度要求较高,稳定性较差等缺点,能快速准确地完成椭偏测量系统中偏振元件方位角的定标。
搜索关键词: 一种 测量 系统 偏振 元件 方位角 光谱 定标 方法
【主权项】:
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