[发明专利]一种X射线曝光装置有效
| 申请号： | 202110084626.5 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112859539B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;范若欣;赖丽燕;王欢;张成功 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种X射线曝光装置，包括套筒(1)和与套筒(1)连接的移动工作台(2)，所述的套筒(1)内设置有掩模版(3)和光刻胶基板(4)，套筒(1)上设有入光口(11)，X射线通过入光口(11)进入套筒(1)内。与现有技术相比，本发明不仅可以有效保护了光刻掩模版，而且此装置可以有效提高光刻的效率以及达到高精度的光刻效果，做到批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 曝光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海应用技术大学，未经上海应用技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110084626.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机器人及其控制方法
- 下一篇：一种弯管型科氏流量计节点板
