[发明专利]一种晶圆自动下片用取放装置

摘要

本发明属于晶圆下片技术领域，提供了一种晶圆自动下片用取放装置，包括机架，机架上设有倍速链输送线、载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台和晶圆放置台，倍速链输送线上设有阻挡气缸，取放机械臂和盖板放置台均位于倍速链输送线的一侧，且取放机械臂的轴端设有取放料机构，晶圆放置台位于倍速链输送线的一端；取放料机构包括安装于取放机械臂工作轴上的安装框架，安装框架上安装有取片气缸驱动的伯努利吸盘，安装框架底部还安装有吸嘴安装板，吸嘴安装板底部安装有若干盖板吸嘴。本发明相较传统的人工下片的取片方式，不但取片效率大大提高，且有效避免了在下片过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆下片过程中晶圆的质量及合格率不受影响。