[发明专利]一种晶圆自动下片、检测生产线

摘要

本发明属于晶圆生产加工技术领域，提供了一种晶圆自动下片、检测生产线，包括进料料仓、下片装置、出料料仓以及检测装置；下片装置的下片机架上设有倍速链输送线、第一载具定位机构、自动下螺丝机构、第二载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台、晶圆放置台和载具举升机构；进料料仓和出料料仓的料仓架体上均滑动安装有第一驱动装置驱动的载具料筐，且进料料仓一侧还设有载具上料拨送机构；检测装置的检测机架一端至另一端依次设有中转取料机构、晶圆转送机构、晶圆检测机、测试取料机构、中转放置台、花篮放置架和旋转放料机构。本发明自动化程度高，晶圆下片及检测效率大大提高，且确保了在晶圆下片、检测过程中晶圆质量及合格率不受影响。