[发明专利]一种柔性铰链式触针位移传感器在审
| 申请号： | 202110085152.6 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112902851A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 常素萍;吴运权;王浩;赵言情;卢文龙 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 孔娜;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种柔性铰链式触针位移传感器，包括：触针单元，包括柔性铰链、固定连接于柔性铰链上表面的第二平面反射镜以及穿过柔性铰链连接于第二平面反射镜下表面的触针；偏振干涉计量单元，水平方向依次包括激光器、偏振分光镜、第一1/4波片以及第一平面反射镜偏振干涉计量单元还包括设于偏振分光镜反射光路上的第二1/4波片以及设于偏振分光镜上方的偏振片和光电探测器。本申请通过对光的偏振反射后的光程差分析即可获得位移量，测量简单精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 铰链 式触针 位移 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学，未经华中科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110085152.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种西点面包烘烤切片设备
- 下一篇：CMC火焰筒试验箱及其试验方法
