[发明专利]物体保持装置在审
| 申请号： | 202110085216.2 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112859396A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 八田澄夫;白泽正裕;木南贵之;五十岚淑人 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 保持 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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