[发明专利]用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置及调整方法在审
| 申请号： | 202110087614.8 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112882247A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 左晓舟;王章利;张云龙;王中强;惠刚阳;韩志超;刘伟光 | 申请（专利权）人： | 西安应用光学研究所 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 刘二格 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置，其包括干涉仪、多自由度自适应调整机构、标准平晶；多自由度自适应调整机构包括多自由度调整模块和闭环控制器，两镜反射系统安装在多自由度调整模块上，干涉仪同轴布置在两镜反射系统前方，标准平晶同轴布置在两镜反射系统后方，两镜反射系统的次镜与次镜框粘接构成次镜组件，次镜组件安装在多自由度调整模块上；闭环控制器读取干涉仪对两镜反射系统波像差的实时测试数据，根据所设波像差目标值进行计算自动寻优，驱动多自由度调整模块带动次镜组件进行位姿调整，直至像差测试量达到目标值。本发明效率高、准确性好、通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 反射 系统 自由度 自适应 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安应用光学研究所，未经西安应用光学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110087614.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
