[发明专利]一种金字塔绒面上优化均匀性化的工艺方法

摘要

本发明公开了一种金字塔绒面上优化均匀性的工艺方法，包括以下步骤：步骤S1，提供太阳能电池原始硅片，对原始硅片进行制绒生长金字塔绒面，再进行绒面清洗预处理；步骤S2，对硅片进行扩散工艺处理；步骤S3，对硅片表面抛光处理；步骤S4，对硅片表面采用双向交替的气流方式沉积氧化铝膜。本发明采用了双向交替的进气方式生长氧化铝膜，可以把氧化铝膜的均匀性大幅提高，在金字塔绒面结构下氧化铝膜的均匀性同样可以控制在3%以内，可以把氧化铝膜更强的场钝化效果发挥出来，降低俄歇复合、SRH复合和表面复合，大大提高了钝化效果。