[发明专利]一种用于水体多参数检测的微流控芯片的制备方法有效
| 申请号： | 202110088295.2 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112808335B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 田扬超;刘刚;熊瑛 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N33/18;G01N35/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明的一种用于水体多参数检测的微流控芯片的制备方法包括以下步骤，S100、制作底层结构即基底；S200、制作微通道结构；S300、制造绝缘层结构；S400、把微通道结构、绝缘层结构及微阀器件分别对应装配到底层结构上；其中，所述S100中包括制造阀的安装位置，在阀门结构对应的位置，进行湿法刻蚀钻孔，为了方便固定阀体，额外取一块与阀体收缩后同等高度的玻璃块，采用CNC钻孔方式获取阀体的安装孔位；所述S300中包括制造带有凸起结构作为阀体一部分的绝缘层结构。本发明的制备方法可以实现制备出多层微流控芯片的制备，带有电极层、绝缘层、通道层，且通道层内含有光纤和凸起结构。该方法制备工艺简单，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 水体 参数 检测 微流控 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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