[发明专利]一种压力传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110089542.0 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112903149A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘京;焦继伟;费跃;陈思奇 | 申请（专利权）人： | 上海芯物科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种压力传感器及其制作方法，压力传感器包括：衬底和单晶硅压阻元件；所述衬底包括层叠设置的第一衬底层、第二衬底层和第三衬底层，所述单晶硅压阻元件设置在所述第三衬底层内。本发明实施例提供的压力传感器及其制作方法，在高温环境下，依然能保证压力传感器有较高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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