[发明专利]一种便于固定切割线的晶圆线切割装置在审

专利信息
申请号: 202110091702.5 申请日: 2021-01-23
公开(公告)号: CN112895184A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 陈嘉玲 申请(专利权)人: 陈嘉玲
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D5/00;F16F15/067
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种便于固定切割线的晶圆线切割装置,包括底座、支杆、横杆、固定管、移动机构和切割机构,所述移动机构设置在横杆上,所述切割机构设置在移动机构上,该便于固定切割线的晶圆线切割装置,通过移动机构驱动切割机构移动,通过切割机构实现工件的切割,与现有的切割机构相比,该机构通过拉紧组件绷紧切割线,从而对切割线实现更好的固定,避免切割线移动,从而提高了切割精度,实现更好的切割效果,通过定位组件对切割线进行定位,同时对切割线切割时产生的震动进行缓冲减震,使得工件切割的更加稳定,提高了切割精度,且通过简单的按压和旋转,即可实现定位轮的拆卸,从而进行切割线的更换,操作简单方便,提高了实用性。
搜索关键词: 一种 便于 固定 切割 晶圆线 装置
【主权项】:
暂无信息
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