[发明专利]一种下降法晶体生长装置在审
| 申请号： | 202110093277.3 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112795978A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周正星;徐建明 | 申请（专利权）人： | 延安星特亮科创有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 716000 陕西省延*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种下降法晶体生长装置，包括机架、可升降的设于机架上的坩埚轴、固定的套设于坩埚轴上的载板、设于坩埚轴顶部的且位于载板上方的坩埚、设于载板上的且用于罩设坩埚的真空罩体、设于机架上的且间隔排列的环设于真空罩体外侧的加热器、设于机架上的且用于驱动坩埚轴升降的驱动机构；坩埚轴包括气路内腔、开设于坩埚轴上的且位于坩埚和载板之间的进气口、开设于坩埚轴上的且位于载板下方的抽气口；进气口和抽气口均与气路内腔连通。本发明一种下降法晶体生长装置，降低真空环境的获取难度，降低生产成本，真空稳定性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 下降 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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