[发明专利]一种光学元件角分辨散射的绝对测量系统及方法在审
| 申请号： | 202110093445.9 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112857752A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李斌成;王静 | 申请（专利权）人： | 成都技致光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件角分辨散射的绝对测量系统及方法，该方法基于光腔衰荡技术，同时测量光学元件的角分辨散射光腔衰荡信号和输出腔镜透射的光腔衰荡信号，获得两光腔衰荡信号幅值的比值，通过定标输出腔镜的透过率得到光学元件的角分辨散射绝对值，通过沿角度方向旋转散射测量光电探测器位置获得光学元件的角分辨散射分布。本发明的目的在于提供一种光学元件角分辨散射的绝对测量系统及方法，基于光腔衰荡技术提高散射测量灵敏度和消除杂散光影响，并利用极低的高反射腔镜透过率对角分辨散射进行标定，提高了微弱散射的绝对测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 分辨 散射 绝对 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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