[发明专利]高频电源

摘要

本发明提供一种高频电源，能够使高频电力作为高速地变化的期望的波形输出。所述高频电源1包括合成2个DC‑RF转换部4A、4B和两DC‑RF转换部4A、4B的输出的RF合成部5。DC‑RF转换部4A、4B分别将从高频信号生成部8输入的高频电压va、vb放大输出高频电压vPA、vPB。RF合成部5以与高频电压vPA、vPB的相位差θ对应的合成比例输出高频电压vPX。控制部9将相位差θ在θ1与θ2之间切换。由此，从RF合成部5输出的输出电力PX成为具有高电平期间和低电平期间的脉冲状的高频电力。相位差θ的切换能够高速地进行，因此能够输出提高了第一电平与第二电平的切换的频率的脉冲状的高频电力。