[发明专利]加工装置中的照明器的亮度的调整方法在审
| 申请号： | 202110096717.0 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN113253543A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 大森崇史;宫田谕 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G03B15/03 | 分类号： | G03B15/03 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供加工装置中的照明器的亮度的调整方法，降低照明器间的亮度差异。在第1加工装置中，存储装置将通过以由第1控制值指定的照明器的亮度对被加工物的规定图案进行拍摄而得到的样本图像与第1控制值一起存储并与加工条件一起复制并存储在第2加工装置的存储装置中，在第2加工装置中，存储装置存储通过以由不同的多个控制值指定的照明器的亮度对被加工物的规定图案进行拍摄而得到的多个比较图像，对样本图像和多个比较图像进行比较，将拍摄相对于样本图像的明暗的差最小的比较图像时的控制值确定为第2控制值，将第2控制值与第1控制值之差作为第2加工装置相对于第1加工装置的控制值的校正值而设定在第2加工装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 中的 明器 亮度 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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