[发明专利]一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统及检测方法

摘要

本发明涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统及检测方法，测量系统包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块，色散成不同波长的多个光束，再聚焦至运动载物模块上的被测物，移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集，光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来，射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息，通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据，将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成表面形貌图像。本测量系统和检测方法适用于在几何空间受限时，检测样品表面形貌。