[发明专利]一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统及检测方法

摘要

本发明涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统和检测方法适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。