[发明专利]一种负压状态下痕量气体检测装置及其检测方法在审
申请号: | 202110098011.8 | 申请日: | 2021-01-25 |
公开(公告)号: | CN112903628A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 江长海 | 申请(专利权)人: | 内蒙古光能科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39 |
代理公司: | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人: | 王倩倩 |
地址: | 017000 内蒙古自治区鄂尔多*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种负压状态下痕量气体检测装置及其检测方法,包括激光控制中心、光开关、激光校准中心、中央数据处理及控制中心和光衰荡腔,所述激光控制中心与光开关之间并联可调谐激光器A和可调谐激光器B,所述光开关与光衰荡腔之间连接有光分束器、光隔离器和光线准直器,所述光衰荡腔内部设置有高反镜A和高反镜B,所述光衰荡腔上端两侧分别连通有压力控制中心和真空泵,所述压力控制中心连接有贮气罐,所述真空泵连通有反应塔。本发明检测方法基于负压状态,利用双激光测同一种待测气体,可测得浓度可相互校验,具有准确性高、误差小、灵敏度高、响应速度快稳定性强等优点,检测时利用激光信号分束可进行波长自校准,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 状态 痕量 气体 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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