[发明专利]一种负压状态下痕量气体检测装置及其检测方法在审

专利信息
申请号: 202110098011.8 申请日: 2021-01-25
公开(公告)号: CN112903628A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 江长海 申请(专利权)人: 内蒙古光能科技有限公司
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39
代理公司: 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 代理人: 王倩倩
地址: 017000 内蒙古自治区鄂尔多*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明公开了一种负压状态下痕量气体检测装置及其检测方法,包括激光控制中心、光开关、激光校准中心、中央数据处理及控制中心和光衰荡腔,所述激光控制中心与光开关之间并联可调谐激光器A和可调谐激光器B,所述光开关与光衰荡腔之间连接有光分束器、光隔离器和光线准直器,所述光衰荡腔内部设置有高反镜A和高反镜B,所述光衰荡腔上端两侧分别连通有压力控制中心和真空泵,所述压力控制中心连接有贮气罐,所述真空泵连通有反应塔。本发明检测方法基于负压状态,利用双激光测同一种待测气体,可测得浓度可相互校验,具有准确性高、误差小、灵敏度高、响应速度快稳定性强等优点,检测时利用激光信号分束可进行波长自校准,实用性强。
搜索关键词: 一种 状态 痕量 气体 检测 装置 及其 方法
【主权项】:
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