[发明专利]一种异质结太阳能电池前电极及其制备方法在审
| 申请号： | 202110098442.4 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112921289A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王正安;来华杭;郭峰;俞峰;周海龙 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 沈自军 |
| 地址： | 312366 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种异质结太阳能电池前电极及其制备方法，其中制备方法包括：采用磁控溅射方法依次在异质结太阳能电池的PN结上沉积组成前电极的种子层和主层；种子层的磁控溅射工艺为：采用包含两个靶材的双极磁控溅射系统进行磁控溅射，两个靶材的溅射粒子流相互碰撞散射后沉积在异质结太阳能电池的PN结上；主层的磁控溅射工艺为：采用至少包含一个靶材的磁控溅射系统进行磁控溅射，各靶材的溅射粒子流以垂直于种子层的方向沉积在种子层上。本申请提供的异质结太阳能电池的前电极制备方法，对现有磁控溅射工艺进行改进，改善前电极的光电转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 太阳能电池 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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