[发明专利]一种激光加工调焦系统及其调焦方法有效
| 申请号： | 202110098802.0 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112935576B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 贺少鹏;巫礼杰;仰瑞;童灿钊;李迁;李福海;李春昊;赵冬冬;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光加工调焦系统，包括：拍摄模块，其用于拍摄待加工材料的轮廓；材料高度检测模块，其用于检测待加工材料的高度；调焦模块，其用于检测和调整激光焦点位于待加工材料的高度；位置检测模块，其用于检测待加工材料的水平位置；控制模块，其与拍摄模块、位置检测模块、材料高度检测模块、调焦模块电性连接；其中，控制模块用于根据待加工材料的轮廓、水平位置以及高度确定待加工材料的边缘坐标，并根据边缘坐标控制调焦模块在移出待加工材料的边缘时保持激光焦点的高度不变。通过实施本发明可以极大地改善调焦模块在待加工材料的边缘处的调焦效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 调焦 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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