[发明专利]一种响应波段可选的非制冷红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110100732.8 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112834052A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 马建华;黄志明;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种响应波段可选的非制冷红外探测器及其制备方法。器件直接采用硅基CMOS读出电路作为衬底，可实现单片式集成。选用具有宽波段响应特性的锰钴镍氧热敏电阻薄膜作为红外吸收层，采用无传统微桥的新型探测器结构，不存在微桥结构可能面临的桥面坍塌风险，提高了成品率，降低了制备成本，并可实现全波段响应。在此基础上，结合三个大气窗口的带通滤光片的循环切换，通过对不同波段的信号数据进行加减融合等算法处理，实现单波段、双波段、三波段和全波段探测功能，可获取更丰富的目标信息，提高成像对比度，增加目标识别能力。本发明器件及其制备方法工艺成熟，与标准的硅集成电路工艺兼容，适用于单元、线列及面阵红外探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 响应 波段 可选 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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