[发明专利]一种面发射太赫兹量子级联激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110100819.5 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112821186A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 徐刚毅;何力;朱欢;常高磊;白弘宙;朱海卿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/023 | 分类号： | H01S5/023;H01S5/0233;H01S5/0239;H01S5/026;H01S5/06 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面发射太赫兹量子级联激光器，包括一衬底以及位于该衬底上方的键合金属层，所述键合金属层的上方设置有引线区以及位于所述引线区之间的天线阵列，所述天线阵列为周期性脊条阵列，所述周期性脊条阵列包括若干个周期单元，每个周期单元中包含两个间隔设置且宽度不同的脊条。另外，本发明还涉及一种面发射太赫兹量子级联激光器的制备方法。本发明可以实现紧致的远场光斑，从而有利于提高激光器的高温特性以及连续波模式下的工作性能。同时，本发明并不需要任何的外腔耦合结构，提高了激光器输出信号的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 赫兹 量子 级联 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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