[发明专利]成像计量目标及方法在审
| 申请号： | 202110100880.X | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN112859540A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | V·莱温斯基;Y·帕斯卡维尔;A·玛纳森;Y·沙利波 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/32;H04N5/232;G02B7/38;G06T7/80 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例涉及成像计量目标及方法。本发明提供计量工具及方法，其估计对应于从周期性目标上的光散射产生的不同衍射级的形貌相位的效应，及调整测量条件以改进测量准确度。在成像中，可通过基于对比函数行为的分析选择适当测量条件、改变照明条件(减小光谱宽度及照明NA)、使用偏光目标及/或光学系统、使用多个散焦位置等而减小叠加误差放大。可使用额外测量或额外目标单元在成像或散射测量中执行测量结果的实时校准。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 计量 目标 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110100880.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种嵌入式计算机的软硬件协同加密电路及方法
- 下一篇：一种卷发器电路
