[发明专利]一种基于磁性阳极结构的小型化潘宁离子源在审
| 申请号： | 202110101071.0 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112928001A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中科石金（安徽）中子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/04 | 分类号： | H01J27/04;H01J27/02;H01J1/36 |
| 代理公司： | 合肥律通专利代理事务所(普通合伙) 34140 | 代理人： | 吴奇 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于磁性阳极结构的小型化潘宁离子源，阳极具体表现为具有一定长度的可导电磁环。小型化离子源为典型的潘宁离子源结构，在这个系统中，电子在电场和磁场的共同作用做螺旋线运动，从而产生高密度潘宁等离子体。本发明通过一个具有磁性的阳极结构增强离子源轴向磁场的磁场强度和均匀度，增加电子在放电区域的轨迹长度，增大离子源工作气体和电子的碰撞几率，增大离子源工作气体的电离率，从而实现离子源原子离子比的提高，同时该类型离子源结构简单，制造成本低，寿命长，易于实现小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁性 阳极 结构 小型化 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科石金（安徽）中子技术有限公司，未经中科石金（安徽）中子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110101071.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
